개발 배경
반도체 전공정 장비 제조사로부터 의뢰를 받아 Uniformity 이상탐지 솔루션 개발 진행
- ER과 함께 Etch 공정의 주요 성능 지표이기에 poor uniformity 탐지하는 것이 필요하며 uniformity 성능과 연관된 주요 센서를 도출하여 모니터링 하고자 함
도입 성과
Uniformity 근사 추정하는 Health Score (상관관계 0.8) 개발 및 주요 센서 3종 도출
- ER 편차 (≒Uniformity) 가 커질수록 Health Score 낮아지며 음의 상관관계 0.8
- Uniformity 성능과 연관된 설비의 주요 모듈을 찾고, 주요 센서 3종 도출 및 검증
적용 기술 및 문제해결 방법
자체 개발한 ‘Health Scoring’ 기술을 Uniformity에 특화하여 맞춤 모델 개발
- Health Scoring은 정상 성능일 때의 센서별 패턴을 학습하여 이상을 탐지하는 EHM의 Basic 기능
- Uniformity가 저하될 때 특정 모듈의 Health Score가 떨어지는 것을 확인함으로써 Uniformity 특화 Health Score를 개발
- 관련 모듈의 주요 센서들을 분석하여 3종의 Key Feature를 정의함
참고 이미지
Uniformity와 Health Score (Corr=-0.8)도출한 주요 센서의 Health Score 와 Uniformity
