EHM
반도체 설비 성능 진단 AI 플랫폼
반도체 설비의 이상을 실시간으로 탐지하고, 공정 결과를 예측하는 등 반도체 산업의 공정과 설비 문제해결에 최적화된 딥러닝 솔루션입니다. 양산 설비를 실시간으로 모든 파라미터 분석이 가능하여 미세 변화와 경시변화를 탐지하고 불량의 원인까지 추적할 수 있습니다.
중국 디스플레이 Fab의 의뢰를 받아 OES 장비사와 협력하여 플라즈마 밀도 추정 모델 개발
MAPE(Mean Absolute Percentage Error) 3.8%로 기존 운영 모델 대비 에러율 약 15%p 개선
자체 개발한 ‘공정가스별 주요 파장 선별 및 파장의 패턴 인식 기술’을 적용하여 맞춤 모델 개발