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실시간으로 즉각적인 인사이트를 제공하는

AI 기반 실시간 공정진단 솔루션

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Realtime Monitoring

설비 당 수십, 수백 여개 센서에서 millisecond 단위로 발생하는 데이터를 종합적으로 진단한 결과를 손쉽게 확인해보세요.

Advance Fault detection

수백개의 설비 센서에 발생하는 데이터에서 AI을 통해 미세한 변화를 감지하여 기존 FDC 등으로 탐지가 불가능 했던 공정과 설비의 이상 탐지를 가능케 합니다.

Root Cause analysis

진단 원인까지 제공함으로써 공정 및 설비 엔지니어들이 개선을 위한 대응 액션의 insight 를 얻을 수 있습니다.

반도체 공정의 초미세화

모든 센서와 공정 구간을 엔지니어가 직접 설정 및 관리할 수있는 범위를 넘어서고 있습니다. 반도체 공정의 초미세화 되면서 매시간 수백 여개의 센서에서 millisecond 단위로 데이터가 발생하고 있습니다.

신규 이상 발생시 재분석/검증 시간이 증가

공정 변수 허용 범위가 좁은 초정밀 공정에 적용의 어려움

데이터 overlap으로 정상/비정상 판별 불가능

감지할 수 없었던 미세한 이상 발견

장비 센서에 최적화된 데이터 처리 및 딥러닝 알고리즘을 기반으로, 기존의 FDC(공정 결함 감지)로는 감지할 수 없었던 공정 및 장비의 미세한 이상을 감지할 수 있습니다. 단일 센서별 스펙 관리 방식이 아닌설비 센서들의 종합적인 패턴 관리 방식을 활용하여, 가성알람은줄이면서 설비의 미세 이상 탐지를 가능케 합니다.

FDC에서 관리하는 이상치 Spec 보다 타이트한 공정 관리

Golden Data 기반의 강력한 비교 분석

Health Score 기반의 건강도 산출 기능

공정 개선을 위한 분석 인사이트

설비의 상태를 스코어링 기술을 통해 정량적으로 파악하고, 실시간으로 이상 징후를 탐지합니다. 불량의 원인이 되는 상태를 탐지하여 설비에 문제가 생기면 즉시 대응이 가능하도록 지원합니다.

패턴 별로 Feature를 자동으로 추출하는 Pattern Recognition

Time Drift 에 강건하여 정확한 실시간 이상 탐지

엔지니어가 쉽게 이해하고 분석할 수 있는 Explainable AI